高精度金屬掩膜 (Metal Mask)製作

金屬掩膜板/不銹鋼掩膜版:應用於電子束蒸發,熱蒸發,磁控濺射等真空鍍膜設備中,用來製備OTFT、OPV、OLED、鈣鈦礦太陽能電池,光電探測器,場效應電晶體等各種器件圖形化薄膜和電極,也適合於教育機構、科研所、高科技公司實驗室使用,屬於高度客制化產品。旭暉可配合客戶規格需求,偕同開發與產製高精度掩膜板(遮罩)產品。

金屬掩膜板(遮罩)規格能力

精密蝕刻可對應之原材料與厚度

AMOLED金屬掩膜

◆ 精密金屬掩膜(遮罩)產品應用於AMOLED的蒸鍍製程。

◆ 製造過程運用精密光刻、蝕刻製程技術,將AMOLED蒸鍍製程所需的各種圖案,成型在低熱膨脹係數的Invar合金,掩膜(遮罩)產品種類包含,

◎ 電洞注入層
◎ 電洞傳輸層
◎ 紅/綠/藍三原色發光層
◎ 電子傳輸層
◎ 陰極層
◎ 包覆層
◎ 封裝層

Open Mask / Fine Mask

高精度金屬掩膜(Metal Mask)製作

穿戴式OLED 產品金屬掩膜製作

精密蝕刻製程設備